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7222用于8寸晶圆和诸如PZT、IR 玻璃等材料切割； 7232用于大基板以及多层基板切割； 7224用于8寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割； 7234用于12寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割； 7302为7232进阶版，可搭载更大台盘12"×10"； 7304为7234进阶版，可搭载更大台盘12"×10"。
· 高效的工件搬运系统
· 刀片磨损预估算法，减少测高时间提升UPH
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· 整机核心部件自主可控，不受全球经济政治变化影响
· 二流体清洗功能保障卓越的加工效果
咨询热线：
400-0057-5777222用于8寸晶圆和诸如PZT、IR 玻璃等材料切割；
7232用于大基板以及多层基板切割；
7224用于8寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割；
7234用于12寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割；
7302为7232进阶版，可搭载更大台盘12″×10″；
7304为7234进阶版，可搭载更大台盘12″×10″。
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7222 |
7232 | 7224 | 7234 |
7302 |
7304 |
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工件尺寸 |
∅8″ |
∅12″ or 253 × 243mm |
∅8″ | ∅12″or 253mm × 243mm | ∅12″ or 9″ × 12″ |
9″ × 12″ |
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主轴 |
60K rpm/1.8kW or 2.2kW |
30K rpm/2.5kW |
30K rpm/2.5kW | 60K rpm/1.8kW or 2.2kW |
30K rpm/2.5kW |
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刀片尺寸 |
2″~3″ |
4″~5″ |
4″~5″ | 2″～3″ | 4″~5″ | |
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尺寸 |
965×1460×1700 (mm) | 1100×1785×1700 (mm) | 965×1460×1700 (mm) |
1100×1785×1700 (mm) |
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重量 |
1200 kg |
1350 kg |
1200 kg |
1350 kg |
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Y轴 |
控制器 |
线性编码器/Y轴 |
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分辨率 |
0.1 μm |
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| 累积精度 |
1.5 μm |
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步进精度 |
1.0 μm |
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X轴 |
气动滑块 |
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| Z轴 | 重复精度 |
1.0 μm |
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分辨率 |
0.2 μm |
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θ轴 |
重复精度 |
4 arc-sec |
| 行程 |
380° |
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清洁台 |
旋转速度 |
100~2,000 rpm |
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清洁方法 |
二流体清洁功能 |
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电气 |
200～240VAC，50-60Hz，单相 |
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