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79XX Duo 系列

8/12英寸双轴半自动划片机系列

79XX Duo 系列下三款机型7900,7920,7930。7900用于8寸硅晶圆以及砷化镓晶圆切割应用,7920用于多基板、玻璃、saw device切割应用,7930用于多块大基板以及高效UPH需求的切割应用。

· 方盘种类可选择 8″×8″、10″×10″、12″×10″

· 整机核心部件自主可控,不受全球经济政治变化影响

· 空气主轴承诺免费质保5年,软件功能开发终身免费

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400-0057-577

产品介绍

79XX Duo 系列下三款机型7900,7920,7930。

 

7900用于8寸硅晶圆以及砷化镓晶圆切割应用;

 

7920用于多基板、玻璃、saw device切割应用;

 

7930用于多块大基板以及高效UPH需求的切割应用。

机器特点

  • 方盘种类可选择 8″×8″、10″×10″、12″×10″
  • X轴采用气悬浮导轨模式,保障运动平滑,提高超高的切割质量
  • 高自动化、高清光学系统
  • 可应对多片产品切割
  • 可定制化应用

 

产品规格

7900

7920

7930

工件尺寸

∅8″

10″×10″

12”×10″

主轴

两个对向主轴 1.8kW或2.2kW;最高转速60,000 rpm

刀片尺寸

2″~3″

尺寸

1015 × 1460 ×1820 (mm)

875 × 975 × 1450 (mm)

重量

1300 kg

900 kg

Y 1 / Y 2轴

控制器

线性编码器/Y轴

分辨率

0.1 μm

累积精度

1.5 μm

步进精度

1.0 μm

Z 1 / Z 2轴

分辨率

0.2 μm

重复精度

1.0 μm

最大行程

30 mm(2.188″刀片外径)

X轴

气动滑块

θ轴

重复精度

4 arc-sec

行程

380°

电气

200-240VAC,50-60Hz,单相

请留下您的行业需求,我们将竭诚为您提供帮助

为什么选择光力?

  • 行业积累 · 一脉相承

  • 核心部件 · 自主掌握

  • 本土研发 · 厚积薄发

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