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8030

12英寸双轴全自动划片机

8030是一款高精度、高性能的双轴(对向式分布)12英寸全自动划片机,结合全新设计的操作系统,提供高效,低使用成本的切割体验。

· 设备功能全新升级,品质、效率、操作体验口碑极佳 

· 半导体TOP10封测厂晶圆划片机国产替代首选机型

· 整机核心部件自主可控,不受全球经济政治变化影响

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产品介绍

8030划片机主要用于12寸硅晶圆切割,兼容6寸与8寸晶圆,并且可对应多片大尺寸QFN。

机器特点

  • 桥式结构
  • 1.8kW或2.2kW高功率主轴(高功率适合挑战型应用)
  • 灵活性-支持最大3″外径的硬刀和软刀
  • 优越的视觉与连续变焦系统
  • 双显微镜,固定式非接触式传感器以及两个磨刀台
  • 19″大尺寸触摸显示器,操作界面直观

 

产品规格

工件尺寸   ∅8″,∅12”或12″x12″方形
主轴   两个对向主轴(可选2,2kW)最高60000转
刀片尺寸   2″~3″
Y 1 / Y 2轴 控制器 线性编码器/Y轴
分辨率 0.1 μm
累积精度 1.5 μm
步进精度 1.0 μm
切割范围 350 mm
X轴   气动滑块
Z 1 / Z 2轴 分辨率 0.2 μm
重复精度 1.0 μm
最大行程 50 mm (2.188″刀片外径)
θ轴 重复精度 4 arc-sec
行程 380°
清洁台   完全冲洗和干燥循环
旋转速度 100~3,000 rpm
清洁方法 二流体清洁功能
电气   200-240VAC,50-60Hz,单相电
尺寸   1145 × 1687×1830(mm)
重量   1500 kg

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