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本设备是由扩膜机构、裂片机构、视觉系统、位置校正系统、软件控制系统、操作系统等组成的复杂运动系统,是完成对激光隐形切割后的晶圆进行扩膜后裂片的功能。
· 视觉系统对刀，精度高,误差小
· 具备工艺参数记忆功能
· 扩膜高度可调节
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400-0057-577本设备是由扩膜机构、裂片机构、视觉系统、位置校正系统、软件控制系统、操作系统等组成的复杂运动系统,是完成对激光隐形切割后的晶圆进行扩膜后裂片的功能。
| 晶圆尺寸 | ∅200mm |
| 电源 | AC-220V±15% 50Hz 5A 1000W |
| 压缩空气 | 0.5~0.6 MPa.100L/min.∅8气管 |
| 真空 | 设备配置有真空发生器(或真空泵/属于选配) |
| 环境温度 | 20°C~30°C |
| 环境湿度 | 30%~60% RH (无冷凝) |
| 设备尺寸 | 1100×700×1700 (mm) |
| 重量 | 230Kg |
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