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用于超声波换能器。
· 低振动主轴加监控选项
· 先进的高度测量能力
· Z轴线性编码器
· 独特的集成平衡软件
· PZT壁厚测量
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021-50939293用于超声波换能器。
| 工件尺寸 | ∅8″ | |
| 主轴 | 60K rpm/1.8kW | |
| 刀片尺寸 | 2″~3″ | |
| Y轴 | 控制器 | 线性编码器 |
| 分辨率 | 0.1 μm | |
| 累计精度 | 1.5 μm | |
| 步进精度 | 1.0 μm | |
| X轴 | 气动滑块 | |
| Z轴 | 分辨率 | 0.2 μm |
| 重复精度 | 1.0 μm | |
| θ轴 | 重复精度 | 4 arc-sec |
| 行程 | 380° | |
| 电气 | 200-240VAC，50-60Hz，单相电 | |
| 尺寸 | 965 × 1300 × 1600（mm） | |
| 重量 | 900 kg |
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