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72XX 系列

8/12英寸单轴全自动划片机系列

7222用于8寸晶圆和诸如PZT、IR 玻璃等材料切割; 7232用于大基板以及多层基板切割; 7224用于8寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割; 7234用于12寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割; 7302为7232进阶版,可搭载更大台盘12"×10"; 7304为7234进阶版,可搭载更大台盘12"×10"。

· 高效的工件搬运系统

· 刀片磨损预估算法,减少测高时间提升UPH

· 连续数字放大成像系统

· 整机核心部件自主可控,不受全球经济政治变化影响

· 二流体清洗功能保障卓越的加工效果

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400-0057-577

产品介绍

7222用于8寸晶圆和诸如PZT、IR 玻璃等材料切割;

 

7232用于大基板以及多层基板切割;

 

7224用于8寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割;

 

7234用于12寸厚玻璃、陶瓷等硬质材料的切割;

 

7302为7232进阶版,可搭载更大台盘12″×10″;

 

7304为7234进阶版,可搭载更大台盘12″×10″。

机器特点

  • 高效的工件搬运系统
  • 刀片磨损预估算法,减少测高时间提升UPH
  • 二流体清洗功能保障卓越的加工效果
  • 连续数字放大成像系统

 

产品规格

7222 7232 7224 7234 7302 7304
工件尺寸 ∅8″ ∅12″ ∅8″ ∅12″ ∅12″ × 9″ or ∅12″ 12″ ×9″
主轴 60K rpm/1.8kW or 2.2kW 30K rpm/2.5kW 60K rpm/1.8kW 30K rpm/2.5kW
刀片尺寸 2″~3″ 4″~5″ 2″~3″ 4″~5″
尺寸 965×1785×1700 1100×1785×1700 965×1460×1700 1100×1785×1700
重量 1200 kg 1350 kg 1200 kg 1350 kg
Y轴 控制器 线性编码器/Y轴
分辨率 0.1 μm
累积精度 1.5 μm
步进精度 1.0 μm
X轴 气动滑块
Z轴 重复精度 1.0 μm
最大行程 30mm (2.188″刀片外径)
分辨率 0.1 μm
θ轴 重复精度 4 arc-sec
行程 380°
清洁台 完全冲洗和干燥循环
旋转速度 100~2,000 rpm
清洁方法 二流体清洁功能
电气 200~240VAC,50-60Hz,单相电

请留下您的行业需求,我们将竭诚为您提供帮助

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