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ADT 977

晶圆清洗机

专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。

·紧凑设计>占地面积小

·-键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便

·可编程序列控制>支持各种应用

· 内置真空支架>提高贴膜精度

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400-0057-577

产品介绍

专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。

机器特点

  • 紧凑设计>占地面积小
  • -键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便
  • 可编程序列控制>支持各种应用
  • 坚固的机械和电气设计>高可靠性
  • 先进的清洗/干燥臂配置>高清洁和干燥性能

其他

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