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977

晶圆清洗机

专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。

· 紧凑设计>占地面积小

· 一键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便

· 可编程序列控制>支持各种应用

· 内置真空支架>提高贴膜精度

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021-50939293

产品介绍

专为切割后工件清洗和干燥而设计,配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴,满足各种清洁度要求。

机器特点

  • 紧凑设计>占地面积小
  • 一键式启动,自动导线盖关闭>操作快速简便
  • 可编程序列控制>支持各种应用
  • 坚固的机械和电气设计>高可靠性
  • 先进的清洗/干燥臂配置>高清洁和干燥性能

产品规格

977 977L
最大工件尺寸 ∅200mm(8″) ∅300mm(12″)
清洗方法 雾化/高压
可以保存的处理程序数量 8
旋转速度范围 50~3,000 rpm 50~2,000 rpm
电源 电压 200VAC / 230VAC,单相
频率 50Hz / 60Hz
标示功率 690VA
气压/氮压 4~5bar
流速 0.5~2 mL/mm
压力 3~4 bar
排气 100CFM
尺寸 410×625×946(mm) 520×809×946(mm)
重量 120Kg 200Kg

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  • 行业积累 · 一脉相承

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