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专为切割后工件清洗和干燥而设计，配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴，满足各种清洁度要求。
· 紧凑设计>占地面积小
· 一键式启动，自动导线盖关闭>操作快速简便
· 可编程序列控制>支持各种应用
· 内置真空支架>提高贴膜精度
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400-0057-577专为切割后工件清洗和干燥而设计，配有旋转卡盘台、旋转清洗/干燥臂。臂可配置雾化清洁喷嘴或高压喷嘴，满足各种清洁度要求。
| 977 | 977L | ||
| 最大工件尺寸 | ∅200mm（8″） | ∅300mm（12″） | |
| 清洗方法 | 雾化/高压 | ||
| 可以保存的处理程序数量 | 8 | ||
| 旋转速度范围 | 50～3,000 rpm | 50～2,000 rpm | |
| 电源 | 电压 | 200VAC / 230VAC，单相 | |
| 频率 | 50Hz / 60Hz | ||
| 标示功率 | 690VA | ||
| 气压/氮压 | 4～5bar | ||
| 水 | 流速 | 0.5～2 mL/mm | |
| 压力 | 3～4 bar | ||
| 排气 | 100CFM | ||
| 尺寸 | 410×625×946（mm） | 520×809×946（mm） | |
| 重量 | 120Kg | 200Kg | |
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