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AM-620L

半自动切割贴膜机

本设备采用丝杆导轨机构,触摸屏及PLC模块化软件控制,实现了自动拉膜、贴膜、切膜等动作,对晶圆进行切割前贴膜。

· 采用Kinco触摸屏,进行对设备的参数设置

· 配备软制防静电滚轮,贴膜压力可线性调节

· 特氟龙处理真空工作盘,高度可根据晶圆厚度不同自适应,可有效保护晶圆

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400-0057-577

产品介绍

本设备采用丝杆导轨机构,触摸屏及PLC模块化软件控制,实现了自动拉膜、贴膜、切膜等动作,对晶圆进行切割前贴膜。

机器特点

  • 采用Kinco触摸屏,进行对设备的参数设置
  • 配备软制防静电滚轮,贴膜压力可线性调节
  • 特氟龙处理真空工作盘,高度可根据晶圆厚度不同自适应,可有效保护晶圆

产品规格

晶圆尺寸 ∅200mm(8″), ∅300mm(12″)
晶圆厚度 350μm~750μm
标准用膜宽度 12吋为400mm、8吋为300mm
贴膜方式 半自动滚轮式
批生产能力 12吋40片/H或以上; 8吋50片/H或以上 (熟练使用情况下)
电源 AC220V 单相50Hz 功率1200W
压缩空气 0.5~0.6 MPa(清洁、干净无杂质)
设备尺寸 620 × 1080 × 550(mm)不计三色灯高度
重量 约160 Kg

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  • 行业积累 · 一脉相承

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