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该设备是适合8吋、12吋晶圆切割前贴膜的手动贴膜机。
· 贴膜性能良好，无不良气泡产生
· 离型膜回收自动化，操作简单
· 特氟隆涂层接触式真空台盘，保证晶圆安全
· 晶圆放置台盘采用浮动设计，高度自适应，可兼容不同尺寸和厚度的晶圆
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400-0057-577该设备是适合8吋、12吋晶圆切割前贴膜使用的手动贴膜机。
| 晶圆尺寸 | ∅200mm, ∅300mm |
| 膜尺寸 | 400mm (12吋)、300mm (8吋) |
| 膜类型 | 蓝膜或UV膜或其他种类的膜(厚度0.05~0.2mm) |
| 电力供应 | 单相交流电220V, 5A, 功率900 W |
| 压缩空气 | 0.5~0.6 MPa 60L/ min |
| 温度 | 20°C~30°C |
| 湿度 | 30%~60% RH (无冷凝) |
| 尺寸 | 600×980×360 (mm) |
| 重量 | 90 Kg |
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