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本设备采用PLC作为控制单元，滚珠丝杆，导轨，伺服以及步进电机驱动，精度高，性能可靠。通过高功率LED UV光的照射，有效降低UV膜的粘性。
· 具有对LED光源实时监测功能，并自动报警
· 实时记录cassette中产品实际数量、位置及错层摆放位置
· 高安全性设计，保证操作人员的安全
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400-0057-577本设备采用PLC 作为控制单元，滚珠丝杆，导轨，伺服以及步进电机驱动，精度高，性能可靠。通过高功率LED UV光的照射，有效降低UV膜的粘性。
| 晶圆尺寸 | 200mm, 300mm |
| 波长 | 365±5nm |
| 照度 | > 500mW/cm² |
| LED使用寿命 | > 10,000hrs |
| 生产能力 | 70片/H到80片/H (照射能量不同有所不同) |
| 电源 | AC 220V, 50Hz |
| 整机功率 | 1000W |
| 尺寸 | 500×1100×1600 (mm) 不含三色灯 |
| 重量 | 180Kg |
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